Hovedforskjellen mellom mikroanalyse og semi-mikroanalyse er at mikroanalyse brukes til å analysere materiale som har mindre enn 10 mg masse, mens semi-mikroanalyse brukes til å analysere materiale som har rundt en 100-500 mg masse.
Mikro- og semi-mikroanalyse er to typer kvalitativ analyse, som er analyse av materiale basert på egenskapene deres i stedet for mengdene. Mikroanalyse refererer til analyse av materiale som har partikkelstørrelser i mikroskalaen. Ulike metoder kan brukes til mikroanalyse. Semi-mikroanalyse er derimot en utviklet metode for mikroanalyse.
